アクチュエータ SRT-G140 高分解能ギア内蔵回転ステージ
特長
高分解能ギア内蔵回転ステージ
- テーブル面の平行度や振れ幅等の機械精度を追求した高精度中空θテーブルです。
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ハーモニックドライブを搭載し、減速比は標準で1/161となります。
オプションで、1/51、1/101、1/121、1/201の5種類に変更可能です。 - 計測機器・半導体製造装置・専用加工機等に適しています。
※ハーモニックドライブは、株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ社の登録商標です。
仕様
モータ種類 | 2相中空ステッピングモータ内蔵回転ステージ |
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定格電流 | 1.2A |
直流抵抗 | 3.6Ω/相 ±15% |
ホールディング・トルク | 2.8kgf-cm ±15% |
無負荷最高速度 | 0.1rps |
位置決め精度 | 0.007deg以内 |
繰り返し精度 | ±0.001deg以内 |
ロストモーション | 0.016deg以内 |
面ぶれ | 2µm |
平行度 | 2µm |
ステージ耐荷重 | 20kg (最大) |
分解能 |
32,200p/r~32,200,000p/r ※分解能は使用するドライバの分解能の設定によります。 |
質量 | 5kg |
サイズ |
外 形 : Φ140×77mm 中空径 : Φ19.8mm |
絶縁階級 | B種(130℃) |
絶縁抵抗 | DC500V 1000MΩ以上 |
絶縁耐圧 | AC50/60Hz 500Vで1分間 |
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