アクチュエータ SRT-G140 高分解能ギア内蔵回転ステージ
特長
高分解能ギア内蔵回転ステージ
- テーブル面の平行度や振れ幅等の機械精度を追求した高精度中空θテーブルです。
-
ハーモニックドライブを搭載し、減速比は標準で1/161となります。
オプションで、1/51、1/101、1/121、1/201の5種類に変更可能です。 - 計測機器・半導体製造装置・専用加工機等に適しています。
※ハーモニックドライブは、株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ社の登録商標です。
仕様
| モータ種類 | 2相中空ステッピングモータ内蔵回転ステージ |
|---|---|
| 定格電流 | 1.2A |
| 直流抵抗 | 3.6Ω/相 ±15％ |
| ホールディング・トルク | 2.8kgf-cm ±15％ |
| 無負荷最高速度 | 0.1rps |
| 位置決め精度 | 0.007deg以内 |
| 繰り返し精度 | ±0.001deg以内 |
| ロストモーション | 0.016deg以内 |
| 面ぶれ | 2µm |
| 平行度 | 2µm |
| ステージ耐荷重 | 20kg (最大) |
| 分解能 |
32,200p/r～32,200,000p/r ※分解能は使用するドライバの分解能の設定によります。 |
| 質量 | 5kg |
| サイズ |
外 形 ： Φ140×77mm 中空径 ： Φ19.8mm |
| 絶縁階級 | B種(130℃) |
| 絶縁抵抗 | DC500V 1000MΩ以上 |
| 絶縁耐圧 | AC50/60Hz 500Vで1分間 |
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