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アクチュエータ SRT-G140 高分解能ギア内蔵回転ステージ

特長

高分解能ギア内蔵回転ステージ

  • テーブル面の平行度や振れ幅等の機械精度を追求した高精度中空θテーブルです。
  • ハーモニックドライブを搭載し、減速比は標準で1/161となります。
    オプションで、1/51、1/101、1/121、1/201の5種類に変更可能です。
  • 計測機器・半導体製造装置・専用加工機等に適しています。

※ハーモニックドライブは、株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ社の登録商標です。

仕様

モータ種類 2相中空ステッピングモータ内蔵回転ステージ
定格電流 1.2A
直流抵抗 3.6Ω/相 ±15%
ホールディング・トルク 2.8kgf-cm ±15%
無負荷最高速度 0.1rps
位置決め精度 0.007deg以内
繰り返し精度 ±0.001deg以内
ロストモーション 0.016deg以内
面ぶれ 2µm
平行度 2µm
ステージ耐荷重 20kg (最大)
分解能 32,200p/r~32,200,000p/r
※分解能は使用するドライバの分解能の設定によります。
質量 5kg
サイズ 外 形 : Φ140×77mm
中空径 : Φ19.8mm
絶縁階級 B種(130℃)
絶縁抵抗 DC500V 1000MΩ以上
絶縁耐圧 AC50/60Hz 500Vで1分間

関連情報

事例/技術情報

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